靜電計如何用恒壓法測量大于1GΩ的高電阻?
恒壓法[1]測量高電阻,需要使用一臺能夠測量弱電流的儀器和一臺直流恒壓源。有些靜電計和皮安計[2]具有內置的電壓源,能夠自動地計算出未知電阻。
使用靜電計和皮安計的恒壓法的基本電路配置如圖2-30a所示。而圖2-30b則示出了使用SMU[3],采用恒壓法進行高電阻測量的情況。
在此方法中,恒壓源(V)與未知電阻(R)和安培計(IM)相串聯。由于安培計上的電壓降可以忽略,所以的測試電壓都出現在電阻R上。由安培計測量產生的電流,再使用歐姆定律計算出電阻(R = V/I)。
高電阻通常是所加電壓的函數,所以恒壓法比恒流法要*。在選定的電壓下進行測量,就可以得到電阻與電壓的曲線,并可以決定 “電阻的電壓系數”。
采用這種方法的應用工作包括測試兩端高阻器件、測量絕緣電阻、確定絕緣材料的體電阻率和表面電阻率等。
恒壓法需要測量弱電流,所以 第2.3節(弱電流測量[4])介紹的各種技術和誤差來源都適用于這種方法。測量高電阻時兩個zui常見的誤差來源是靜電干擾和泄漏電流。如第2.6.2節所介紹,將高阻抗電路屏蔽可以盡量降低靜電干擾的影響。采用第2.3.1節介紹的保護技術可以控制泄漏電流的影響。
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